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Diese Methode zählt ebenfalls zu den zerstörungsfreien Feuchtigkeitsmessverfahren. Das Meßprinzip beruht auf dem Messen des Energieverlustes, der entsteht, wenn Flüssigkeit von außen durch Mikrowellen mit hohen Frequenzen bis zur Resonanz angeregt werden. Dort zeigen viele flüssige Stoffe ihr Maximum am Absorption.

Bei den meisten Materialen wie Holz, Mauerwerk oder anderen Baustoffen läßt sich auf diese Weise der Wassergehalt bis in einer Tiefe von 20 cm bis 25 cm bestimmen.

Das Mikrowellenverfahren ist ein sehr schnelles, aber auch sehr teures Verfahren. Die Bauteilfeuchte läßt sich sofort am Laptop ablesen. Bei bestimmten Geräten sind allerdings zum Schutz der Gesundheit Schutzmaßnahmen zu treffen. Zudem ist eine ebene Unterlage notwendig, da es sonst zu Problemen beim Ankoppeln kommt.